硅基MEMS渐变式缝隙天线

• 作者: 侯芳 朱健 郁元卫 陈辰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 渐变式缝隙天线 CPW馈电
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1333-1337
• 页数: 5页
• 分类号: TN822.4|TN823.27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.023

摘要

为了增加天线带宽,提高天线机械稳定性,改善天线性能,提出并设计制作了一种工作在35 GHz的硅基MEMS渐变式缝隙天线.针对渐变式缝隙天线在毫米波频段介电常数高、衬底极薄、易碎、不易制作等问题,利用ICP深刻蚀工艺在衬底上形成了周期性通孔阵列,从而减小了衬底有效介电常数,增加了衬底厚度,同时利用共面波导-槽线对该天线进行馈电.仿真结果表明,该天线带宽为28.2%,增益为8.7 dB.采用微机械工艺对该天线进行加工,测得其带宽为13.2%.与传统天线相比,该天线进一步提高了天线衬底的机械稳定性,增加了天线带宽,且易于集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健	南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室	43	318	11.0	16.0
2	郁元卫	南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室	20	101	6.0	9.0
3	陈辰	南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室	22	120	7.0	10.0
4	侯芳	南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家级重点实验室	2	5	2.0	2.0