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摘要:
IBM科学家日前公开展示了一种大有希望的实用技术,该技术能有效消除扫描探针技术中使用的纳米针尖的机械磨损。此一发现将有助于开发出下一代更为先进的计算机芯片,使芯片具有更高性能和更小体积。以扫描探针为基础的工具可超越目前生产和表征工具的可能极限,扩展其测量能力、质量和精度。
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文献信息
篇名 清除纳米级机械磨损方法
来源期刊 光学精密机械 学科 工学
关键词 机械磨损 纳米级 扫描探针技术 计算机芯片 清除 实用技术 测量能力 科学家
年,卷(期) gxjmjx_2009,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-10
页数 2页 分类号 TH117.1
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研究主题发展历程
节点文献
机械磨损
纳米级
扫描探针技术
计算机芯片
清除
实用技术
测量能力
科学家
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
光学精密机械
季刊
长春市卫星路7089号
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