基于氧化锌纳米线的硅谐振式加速度计

• 作者: 朱荣 陈国炜
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌纳米线 微机电系统 加速度计 谐振器 介电电泳
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1279-1285
• 页数: 7页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.014

摘要

设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计,该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器.采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线,并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性.在加速度的作用下,质量块引起的惯性力通过支撑梁对纳米线施加应力,因此,在谐振条件下,纳米线谐振频率的变化反映了加速度的大小.谐振式加速度计的准数字输出能解决多数MEMS器件输出微弱信号检测难的问题.实验结果表明,加速度计的灵敏度随着纳米线的厚度的减小而急剧增加,选择500 nm厚度的纳米线作为理论分析,加速度计的灵敏度可达2.5 kHz/g以上.