用于能量传输的生物体植入式MEMS电感线圈的设计

• 作者: 卢露 郭航 骆明辉
• 来源期刊: 生命科学仪器
• 学科: 生物学
• 关键词: 集成电感 可植入式微器件 MEMs 能量耦合 SU-8 电镀
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: Q1
• 字数: 1787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7929.2009.10.012

摘要

为了能得到植入在生物体内,用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量L值的MEMS电感线圈,本文首先对MEMS电感模型做了理论分析,然后在充分考虑功率传输要求、植入器件体积的限制以及制作工艺的可实现性的情况下,用高精度的3D电磁仿真软件HFSS,对电感的主要参数如圈数N、线宽W、导线间隙S、导线厚度H、导线材料M和衬底电导率σ作了优化设计.最终确定N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M为Cu、σ=0.1s/m.数值仿真的结果显示Q=17.6,L=55nH,fQMAX=240MHz,fself=1.2GHz,它们能很好地符合能量传输的功率要求和信号传输的带宽要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭航	厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心	34	112	6.0	8.0
2	骆明辉	厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心	2	9	2.0	2.0
3	卢露	厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心	1	2	1.0	1.0