超高真空设备的放气分析

• 作者: 刘恩均 孙立臣 汪力 闫荣鑫
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: 放气 超高真空 材料
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 环模设备研制
• 页码范围: 158-161
• 页数: 4页
• 分类号: V416.8
• 字数: 751字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1379.2009.02.015

摘要

文章介绍了超高真空设备放气的理论,并给出两种放气模型:Schram吸附模型和吸附-扩散模型;对设备的放气理论值进行了计算,并通过四极质谱仪得出的残余气体质谱图分析出材料放气的成分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫荣鑫		66	257	8.0	11.0
2	孙立臣		68	159	6.0	9.0
3	汪力		11	40	4.0	5.0
4	刘恩均		6	13	3.0	3.0