用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极

• 作者: 景蔚萱 朱明智 蒋庄德
• 来源期刊: 中国科技论文在线
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束沉积系统 真空蒸镀系统 扫描电子显微镜 循环伏安法 交流阻抗谱
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 页码范围: 587-591
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3431字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-2783.2009.08.009

摘要

介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用.首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300 nm的Au膜,然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层;最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极.用扫描电镜(SEM)表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量;在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析.表征结果表明:所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好;循环伏安响应曲线为典型的S形,交流阻抗谱和Raadels等效电路一致;所制备的Au环电极具备微电极特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
2	景蔚萱	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	17	72	5.0	7.0
3	朱明智	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	5	19	3.0	4.0