电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅中18个痕量元素

• 作者: 刘英波 李菁菁 杨毅 王劲榕
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 化学
• 关键词: 电感耦合等离子体质谱法 动态反应池 多晶硅 痕量元素
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: O657.31
• 字数: 2040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7571.2009.11.002

摘要

建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对光伏用多晶硅中B,Cu,Fe,Al,K,Ca,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,As,Mo,W,Cd,Pb共计18个可能共存的杂质元素同时定量测定的方法.以硝酸、氢氟酸分解多晶硅试样,称重法确定加入试剂的量.采用动态反应池(DRC)技术,在池内引入氨气(NH_3)作为反应气体来消除质谱干扰.在选定的条件下,被测元素的检出限为0.8～6.9 pg/g(3σ),样品的加标回收率在83.0%～106%之间,相对标准偏差(RSD)为0.27%～2.7%(n=11).所建立的分析方法实现了对光伏用多晶硅样品中痕量元素的全分析,实际样品的测定结果与参考值相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨毅		20	109	6.0	9.0
2	刘英波		21	111	6.0	9.0
3	王劲榕		18	115	7.0	10.0
4	李菁菁		8	47	4.0	6.0