基于分子动力学的原子力显微镜表面成像

• 作者: 梁迎春 白清顺 窦建华 董申
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学 原子力显微镜 成像仿真
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 基础理论研究
• 页码范围: 27-34
• 页数: 8页
• 分类号: TB931
• 字数: 4391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2009.01.027

摘要

基于非接触式原子力显微镜针尖扫描成像机理,应用分子动力学方法采用非刚性针尖-表面原子团簇相互作用模型,模拟超低温环境下,非接触式原子力显微镜单晶硅针尖扫描单晶硅(111)-(7×7)表面成像过程.仿真计算采用两种原子间经验势函数描述针尖-表面原子间相互作用,两种晶向针尖末端模型都实现了对单晶硅(111)-(7×7)表面原子级分辨率仿真成像,在某些超原子级分辨率仿真图像中在单晶硅(111)-(7×7)表面Adatom原子位置出现了的双月牙峰形结构,模拟计算与成像试验文献中得到的图像基本一致.同时对采用确定的势函数及确定的晶向针尖末端,实现稳定成像的扫描针尖-表面距离进行讨论.扫描过程中针尖和被测表面形貌轻微改变,对扫描成像结果影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁迎春	哈尔滨工业大学精密工程研究所	145	2341	26.0	39.0
2	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
3	白清顺	哈尔滨工业大学精密工程研究所	47	488	15.0	20.0
4	窦建华	哈尔滨工业大学精密工程研究所	3	10	2.0	3.0