一种大范围高精度的光电测量装置研究

• 作者: 周秀云 程玉华
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 双纵模激光 拍频频差 节点 不确定度 小波变换
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 951-954
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文

摘要

为解决大尺寸测量的环境性和高精度性的矛盾问题,介绍了一种可用于工业现场大尺寸零件精密测量的装置.该装置以双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,其拍频频率约为729MHz,拍频波长约412 mm;以拍频波长为测量基准,拍频波节点(过零点)为对准标志,用粗估的方法获取整数倍拍频半波长的长度,用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪(分辨率为0.08μm)测量最邻近节点到被测点的尾数长度.测试表明,此装置具有很好的环境适应性和同类仪器中最高的频差稳定度.整个测量系统可在0～20 m范围内工作.测量不确定度优于士30μm/10 m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周秀云	电子科技大学自动化工程学院	13	67	5.0	7.0
2	程玉华	电子科技大学自动化工程学院	18	50	3.0	6.0