大面积平面工艺Si带电粒子探测器研制

• 作者: 刘洋 孙亮 张万昌 陈国柱 黄小健
• 来源期刊: 核电子学与探测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面工艺技术 大面积si带电粒子探测器 能量分辨率
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 466-469
• 页数: 4页
• 分类号: TL814
• 字数: 1429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-0934.2009.02.057

摘要

叙述了用平面工艺技术制备大面积Si带电粒子探测器的工艺方法.为了减小探测器的漏电流,采用了表面钝化技术.文章分别给出了厚度300μm、灵敏区直径20mm以及厚度500μm、灵敏区直径40mm探测器在室温下漏电流测量结果,以及探测器在室温条件下对241Am 5.486Mevα粒子的能谱响应测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋		19	27	3.0	5.0
2	张万昌		3	16	2.0	3.0
3	孙亮		2	8	1.0	2.0
4	黄小健		7	17	3.0	4.0
5	陈国柱		2	2	1.0	1.0