一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作

• 作者: 张明 王军波 陈德勇
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 振动环 陀螺仪 硅玻璃键合
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 传感器应用与专业化
• 页码范围: 316-317,349
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.z1.103

摘要

介绍了振动环式陀螺仪的基本工作原理,分析了传统的振动环式陀螺仪所存在的缺陷.并针对这些问题,设计和制作了一种单晶硅式振动环陀螺仪.该陀螺仪采用硅玻璃键合工艺制作,利用振动环作为敏感元件,选取静电激励、电容检测的工作方式.设计陀螺仪的工作频率高于15 kHz,以降低了环境对陀螺仪性能的影响.陀螺仪的制作方法简单,只需要2块掩模板,便于批量化生产.