多次掩模湿法腐蚀硅微加工过程的蒙特卡罗仿真

• 作者: 倪中华 幸研 朱鹏 汤文成
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蒙特卡罗法 单晶硅 各向异性湿法化学腐蚀 仿真
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 239-243
• 页数: 5页
• 分类号: O414.2
• 字数: 4829字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2009.01.239

摘要

探讨利用蒙特卡罗 (Monte Carlo, MC) 法模拟硅微加工各向异性湿法腐蚀的仿真,实现连续多次掩模,多步硅微加工工艺过程的仿真.介绍MC法的使用特点及其在湿法腐蚀硅微加工中的应用,仿真使用腐蚀概率方程确定表面原子适当的MC转移概率,模拟方法支持氧化硅和氮化硅掩模层作用下的各向异性腐蚀加工和多次掩模的传递过程.编制的仿真程序通过模拟一个原子力显微镜探针阵列多掩模连续6步工艺的硅微加工过程验证了MC法的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤文成	东南大学机械工程学院	222	2380	24.0	39.0
2	幸研	东南大学机械工程学院	45	401	11.0	18.0
3	倪中华	东南大学机械工程学院	147	1524	22.0	30.0
4	朱鹏	东南大学机械工程学院	18	84	6.0	7.0