超声波键合能量引导微结构PMMA基片的制作

• 作者: 张宗波 张彦国 王晓东 罗怡 陶琳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚甲基丙烯酸甲酯基片 能量引导微结构 微超声键合 热压
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1373-1378
• 页数: 6页
• 分类号: TN405|TN305.99
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.030

摘要

为了用超声波键合的方法实现微流控芯片的封装,采用选择性键合方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的微沟道两侧设计、制作了能量引导微结构,用热压法在同一PMMA基片上一次成形了凸起的能量引导微结构和凹陷的微沟道.用套刻和湿法腐蚀的方法制作了复合一体化硅模具.通过正交实验,确定了优化后的热压工艺参数.实验结果表明,由于同时存在凹、凸微结构,因此优化后的热压成形温度比传统的热压凹陷结构的成形温度提高15～20℃,在温度为140 ℃、保压时间为300 s、压力为1.65 MPa的实验条件下,微结构的复制精度达到了99%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗怡	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	53	695	13.0	25.0
3	王晓东	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	115	1141	19.0	28.0
7	陶琳		1	5	1.0	1.0
10	张彦国		1	5	1.0	1.0
11	张宗波		1	5	1.0	1.0