绒面ZnO/Si异质结太阳能电池的初步研究

• 作者: 刘爱民 刘维峰 张伏生 张籍权
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 喷雾热解 氧化锌 绒面硅
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1344-1348
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4|O475
• 字数: 3432字
• 语种: 中文

摘要

以p型单晶硅<100>作为衬底材料,通过化学腐蚀法得到硅绒面表面结构,采用喷雾热解法沉积掺Al的ZnO薄膜于绒面硅上,结合微电子光刻、磁控溅射和真空蒸镀等工艺制作上、下表面电极,于400 ℃氮气氛围下快速退火合金,得到Ag/Ti/n-ZnO/p-Si/Al异质结太阳能电池.对电池样品进行了原子力显微镜、霍尔效应测试、X射线衍射谱、电流电压特性等分析.得到电池最佳性能为:开路电压V_(oc)=355 mV,短路电流I_(sc)=36 mA,填充因子FF=0.41,电池效率达到5.2%.绒面异质结构有效降低了电池表面的光反射,相对增加了p-n结的有效面积,电池效率得到一定程度的提高.ZnO与Si界面之间SiO_2层的存在是目前影响电池效率的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘爱民	大连理工大学物理与光电工程学院	7	43	4.0	6.0
2	张伏生		7	10	2.0	3.0
3	刘维峰	大连理工大学物理与光电工程学院	8	100	6.0	8.0
4	张籍权	大连理工大学物理与光电工程学院	1	8	1.0	1.0