正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用

• 作者: 张书练 谈宜东
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 正交线偏振 精密测量 频率分裂 激光纳米测尺 相位延迟测量 激光回馈效应
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 1-11
• 页数: 11页
• 分类号: O435.1|TN248.2
• 字数: 9255字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2009.03.001

摘要

介绍了正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用,包括:1)正交偏振双频激光器,2)纳米激光测尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感器)测量原理,3)直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理,4)激光回馈波片位相延迟测量原理.这些新应用的原理,结构简单,可溯源到光波长.如,纳米激光测尺已在应用中,测量范围12mm,分辨力79nm,线性度小于5×10-5,基于频率分裂的波片位相延迟测量系统重复性达到0.3',而激光回馈波片位相延迟测量系统具有在线检测的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张书练	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	85	832	17.0	24.0
2	谈宜东	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	13	48	4.0	6.0