多通道柔性神经微电极加工工艺

• 作者: 任秋实 徐爱兰 惠春 李刚 赵建龙 邢玉梅
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 医学
• 关键词: 神经微电极 柔性基底 聚对二甲苯 微细加工
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2465-2472
• 页数: 8页
• 分类号: TP212.3|R338
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.10.018

摘要

针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺.采用一种新型的柔性聚合物材料--聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150 μm(圆形)和150 μm×150 μm(方形),电极引线线宽为30 μm.无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰.电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性.微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵建龙	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	140	1166	18.0	26.0
2	任秋实	上海交通大学生命科学技术学院	76	566	13.0	20.0
3	李刚	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	206	2926	26.0	46.0
4	惠春	上海交通大学生命科学技术学院	25	181	9.0	13.0
5	徐爱兰	上海交通大学微纳科学技术研究院	6	63	6.0	6.0
6	邢玉梅	上海交通大学生命科学技术学院	3	20	3.0	3.0