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三维柔性神经微电极阵列的制作
三维柔性神经微电极阵列的制作
作者:
任秋实
周洪波
姚源
孙晓娜
朱壮晖
李刚
赵建龙
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
人工视觉
三维柔性电极
微电极阵列
电极表面积
摘要:
提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法.该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价.利用上述方法制备了具有4×4电极位点阵列的三维柔性神经微电极,每个电极位点大小为60 μm×60 μm,高度约37 ttm.阻抗测试显示,1 kHz时三维凸起电极位点的阻抗比传统的相同大小的平面微电极阵列约降低63%.结果表明,该电极的凸起特点可以保证电极刺激位点与神经细胞的良好接触,同时凸起结构也增加了电极刺激位点的表面积,改善了电极刺激位点的电荷注入能力,可有效提高刺激效果.
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空气等离子体
黏附性
聚酰亚胺
多通道柔性神经微电极加工工艺
神经微电极
柔性基底
聚对二甲苯
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内容分析
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文献信息
篇名
三维柔性神经微电极阵列的制作
来源期刊
光学精密工程
学科
医学
关键词
人工视觉
三维柔性电极
微电极阵列
电极表面积
年,卷(期)
2008,(8)
所属期刊栏目
微纳技术与精密机械
研究方向
页码范围
1396-1402
页数
7页
分类号
TP212.3|R338
字数
2939字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2008.08.010
五维指标
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研究来源
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期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
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学科类型:
数理科学
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