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摘要:
提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法.该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价.利用上述方法制备了具有4×4电极位点阵列的三维柔性神经微电极,每个电极位点大小为60 μm×60 μm,高度约37 ttm.阻抗测试显示,1 kHz时三维凸起电极位点的阻抗比传统的相同大小的平面微电极阵列约降低63%.结果表明,该电极的凸起特点可以保证电极刺激位点与神经细胞的良好接触,同时凸起结构也增加了电极刺激位点的表面积,改善了电极刺激位点的电荷注入能力,可有效提高刺激效果.
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内容分析
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文献信息
篇名 三维柔性神经微电极阵列的制作
来源期刊 光学精密工程 学科 医学
关键词 人工视觉 三维柔性电极 微电极阵列 电极表面积
年,卷(期) 2008,(8) 所属期刊栏目 微纳技术与精密机械
研究方向 页码范围 1396-1402
页数 7页 分类号 TP212.3|R338
字数 2939字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.08.010
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
人工视觉
三维柔性电极
微电极阵列
电极表面积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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