一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器

• 作者: 王军波 郭然 陈德勇
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式 微流量传感器 电磁激励 低应力富硅氮化硅SiN 有限元耦合场仿真 微机电系统
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3,9
• 页数: 4页
• 分类号: TH814
• 字数: 1593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.12.001

摘要

提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器.该传感器采用电磁激励方式.传感器主要由1个3 μm 厚H型谐振器、1个40 μm厚的悬臂梁平板(2 000 μm×5 000 μm)以及连接平板和框架的2根40 μm厚的支撑梁组成.谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率.文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果.测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1 000.但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭然	传感器国家重点实验室中国科学院电子学研究所	1	5	1.0	1.0
2	陈德勇	传感器国家重点实验室中国科学院电子学研究所	1	5	1.0	1.0
3	王军波	传感器国家重点实验室中国科学院电子学研究所	1	5	1.0	1.0