焦平面探测器ZnS增透技术研究

• 作者: 傅月秋 王海珍 郑克霖
• 来源期刊: 内江科技
• 学科: 地球科学
• 关键词: InSb焦平面探测器 ZnS 增透 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 技术创新
• 页码范围: 90,93
• 页数: 2页
• 分类号: P3
• 字数: 1625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1436.2009.11.079

摘要

在InSb焦平面探测器(FPA)制造中,InSb芯片背面经磨抛减薄后需要在表面镀制增透膜,增大InSb芯片对红外光的吸收.本文介绍了采用磁控溅射方法镀制不同厚度的ZnS膜,测量其光谱透过率及反射率,利用红外焦平面测试系统比较了ZnS膜和SiO2膜的增透效果,结果表明磁控溅射的ZnS膜具有更优的增透效果和均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海珍		11	33	4.0	4.0
2	郑克霖		4	14	2.0	3.0
3	傅月秋		3	6	1.0	2.0