在半导体制造业中构建MES的研究和实践意义

• 作者: 何蕾
• 来源期刊: 企业技术开发（下半月）
• 学科: 工学
• 关键词: IMES 半导体 ERP PCS
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 科技实践
• 页码范围: 115
• 页数: 1页
• 分类号: TN305
• 字数: 1631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8937.2009.01.082

摘要

文章阐述了制造执行系统(MES)的原理,结合半导体制造业的行业背景,对半导体制造业中构建MES进行了研究并分析了其实践意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何蕾	苏州大学计算机科学与技术学院	9	47	3.0	6.0