双压电片变形反射镜样镜的设计与研制

• 作者: 周虹 姜文汉 宁禹 官春林
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 白适应光学 耦联变形反射镜 泽尼克像差 影响函数
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 自适应光学
• 页码范围: 1437-1442
• 页数: 6页
• 分类号: O438
• 字数: 3056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS20092906.1437

摘要

双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点,能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本.为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能,制造了一块20单元的试验样镜.样镜采用了双层压电陶瓷的结构,其中一层作整体离焦电极以校正大幅值的离焦像差.利用Veeco干涉仪测最了样镜单元电极影响函数,分析了其埘前36项Zernike像差的校正能力.结果表明,样镜对离焦像差能获得高达8μm以上的校正量,对其它高阶像差也能适量校正,但校正能力随空间频率升高而降低,显示出其适合校正低阶像差的特性.此外,讨论了不同有效孔径下样镜对Zernike像差的拟合能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜文汉	中国科学院光电技术研究所	109	2010	27.0	39.0
2	官春林	中国科学院光电技术研究所	15	63	4.0	7.0
3	周虹	中国科学院光电技术研究所	13	113	5.0	10.0
5	宁禹	中国科学院光电技术研究所	14	124	7.0	11.0