Lamb波压差式微流量传感器

• 作者: BASTIEN Francois MANCEAU Jean-Francois 光玲玲 刘波 贾宏光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体系统 微流量传感器 Lamb波
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1033-1038
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.12|TH814
• 字数: 2970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.05.015

摘要

为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统.该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双Lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿.对长20 mm,宽1 mm,高50 μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.999 9;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627 μL/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	266	2712	24.0	39.0
2	贾宏光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	120	1499	18.0	33.0