基于空气轴承的高精度圆度测量系统设计

• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 空气轴承 圆度 测量 设计
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 理论/研发/设计/制造
• 页码范围: 54-55
• 页数: 2页
• 分类号: TG834
• 字数: 1211字
• 语种: 中文

摘要

利用高精度空气静压轴承和非接触位移传感器,设计了一套圆度测量系统,可以实现外圆柱面圆度的精密测量.该系统的圆度测量结果与英国Taylor Hobson公司的高精度圆度仪测量结果对比表明,可以达到0.1μm以下的测量精度.多次测量证明,该系统测量结果重复性好、可信性高.