用于多频振动的MEMS复合式能量采集器的设计

• 作者: 任婧 陈旭远
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 振动能量采集 复合式采集器 多频能量采集 微机电系统
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1367-1372
• 页数: 6页
• 分类号: TN384|TN712
• 字数: 537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.029

摘要

设计、模拟了一款用于多频振动的MEMS复合式能量采集器,提出了一种新颖的能量采集结构,即将压电式悬臂梁和可变电容器结合起来用于多频振动能量的采集.在建立多频振动能量采集系统分析模型的基础上,使用MatLab/SIMULINK的数值模拟,预测了功率输出.模拟结果显示,该结构可在630～655 Hz有效工作,在负载为50 kΩ时,输出功率可达13.46 μW.基于这个结果,给出了一个优化设计方案,同时为了防止结构失效,对结构进行了有限元仿真分析.仿真分析结果显示了良好的预期性能,说明了该设计指导思想的合理性和先进性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭远	厦门大学萨本栋微机电研究中心	4	54	3.0	4.0
2	任婧	厦门大学萨本栋微机电研究中心	1	11	1.0	1.0