MEMS复合式振动能量采集器

• 作者: 伞海生 张杨键
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电能量采集器 静电能量采集器 复合式能量采集器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1262-1266
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TN712
• 字数: 1176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.011

摘要

介绍了一种结合了压电式能量采集与静电式能量采集原理的复合式振动能量采集器.其结构通过有限元分析软件的优化设计,得到了期望的低频共振频率.为了预测这个复合式振动能量采集器的性能,建立了解析模型,在此基础上使用MATLAB/SIMULINK进行了数值模拟.模拟结果显示,在某些特定的频率范围内,这种复合式振动能量采集器能够提供比其他两种能量采集器更高的输出功率.对于固有频率为282 Hz的器件结构,仿真发现复合式设计的输出功率可达4.85 μW,两倍于电容式设计的输出功率2.11 μW.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伞海生	厦门大学萨本栋微机电研究中心	9	97	4.0	9.0
2	张杨键	厦门大学萨本栋微机电研究中心	1	14	1.0	1.0