减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法

• 作者: 刘英明 唐锋 李中梁 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 多光束干涉 参数优化 误差补偿 正弦相位调制
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 2115-2120
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093608.2115

摘要

在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时,由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉,干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布.按照双光束干涉的算法进行相位信息提取,会引入一定的误差.以正弦相位凋制菲佐干涉仪纳米精度微小位移测量为应用背景,分析多光束干涉情况下该干涉仪信号解调算法的误差,进而对干涉仪的相关参数进行优化,并通过误差补偿对测量结果进行修正,有效减小了多光束干涉产生的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
2	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	19	47	4.0	6.0
3	刘英明	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	9	42	5.0	6.0
4	李中梁	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	17	23	3.0	4.0