高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究

• 作者: 林玉池 赵美蓉 齐永岳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉 耦合差动 误差分析 纳米精度
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TB96
• 字数: 3669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.04.016

摘要

提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则.对系统精度在理论分析的基础上进行了估算,得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1.8mm.采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测,利用线性回归的方法对测量结果进行处理.试验结果表明:该干涉测量系统的精度约为14mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林玉池	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	135	1717	21.0	34.0
2	赵美蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	97	969	15.0	26.0
3	齐永岳	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	25	239	8.0	14.0