烧结温度对冲击磨用Al2O3陶瓷靶材性能的影响

• 作者: 卢成渝 周喜 王焱 陈俊冬 陈海焱
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 烧结温度 陶瓷 靶材 性能
• 年，卷（期）: 2009,（14）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 2632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.14.020

摘要

利用无压烧结工艺制备了陶瓷靶材,并借助扫描电子显微镜和液压机等测试设备研究了烧结温度对陶瓷靶材显微结构和力学性能的影响.结果表明,随着烧结温度的升高,掺杂Al2O3陶瓷靶材的晶粒尺寸逐渐增大,晶粒形状也由各向异性生长逐步向等轴状发育;靶材的抗弯强度也随着烧结温度的升高先升高后降低,并在1600℃时强度和耐磨性达到最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海焱	西南科技大学环境与资源学院	119	1090	18.0	26.0
2	周喜	西南科技大学材料科学与工程学院	4	58	2.0	4.0
3	陈俊冬	西南科技大学制造科学与工程学院	28	78	4.0	8.0
4	王焱	西南科技大学材料科学与工程学院	12	17	3.0	3.0
5	卢成渝	西南科技大学材料科学与工程学院	5	31	3.0	5.0