KBA显微成像系统程序设计与模拟

• 作者: 孙德林 胡家升 赵玲玲
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线光学 X射线成像 KBA显微镜 掠入射反射成像 消像散系统
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 110-114
• 页数: 5页
• 分类号: O434.19
• 字数: 2928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093601.0110

摘要

近20年来,由于X射线光刻技术、空间技术以及激光引爆的惯性约束聚变(ICF)的过程诊断等的需求,X射线成像技术获得迅速发展.但是,由于常规的成像方法难以适应X射线波段,目前大多采用掠入射反射成像和编码孔径成像方法.KBA显微镜为掠入射非共轴X射线反射成像系统,而且四块反射镜是空间分布的,前两块反射镜和后两块反射镜之间并不是严格互相垂直的,这给像质分析带来相当大的困难.通常的光学CAD软件难于适应这种光学系统.因此设计了掠入射非共轴反射成像的KBA显微镜成像系统程序,并用该程序分析了该系统的综合误差. 物距公差为-0.4～+1 mm,掠入射角公差在-8″～0,双反射镜公差在-20″～0,弥散斑的变化在允许的范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玲玲	鲁东大学物理与电子工程学院	13	47	3.0	6.0
2	胡家升	大连理工大学电子与信息工程学院	65	797	16.0	24.0
3	孙德林	鲁东大学交通学院	9	14	2.0	2.0