酸催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能

• 作者: 唐永兴 李海元 胡丽丽
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 溶胶-凝胶 ZrO2 Zr(OC3H7)4 聚乙烯吡喏烷酮
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 472-475
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093602.0472

摘要

以Zr(OC3H7)4为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的酸性条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶.采用粘度、红外(IR)光谱、折射率、热分析(DSC)、原子力显微镜(AFM)等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征.结果表明,制备的ZrO2溶胶具有比较好的粘度稳定性,加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)对溶胶稳定性影响不大;经500 ℃热处理后,膜层折射率可达1.91;薄膜表面均匀平整;加入PVP能提高膜层的激光损伤阈值(LIDT),ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6 J/cm2(1064 nm,1 ns),ZrO2-PVP膜的激光损伤阈值为23.3 J/cm2(1064 nm,1 ns).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡丽丽	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	185	1423	20.0	27.0
2	李海元	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	9	56	4.0	7.0
3	唐永兴	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	9	63	5.0	7.0