水热法制备ZrO2高折射率薄膜

• 作者: 周斌 张勤远 杨天河 沈军 王珏 邓忠生 陈玲燕
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 水热法 ZrO2醇溶胶 高折射率 薄膜
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 第六届全国核靶技术交流会论文选
• 页码范围: 328-331
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.1999.04.011

摘要

以ZrOCl2.8H2O为原料,采用水热法和溶胶-凝胶工艺制备颗粒度为几至几十纳米的ZrO2水溶胶,再以甲氧基乙醇转换为醇溶胶,用旋转镀膜法制备了高折射率ZrO2薄膜.应用原子力显微镜及台阶仪测试了膜表面微观形貌,获得了膜的红外光谱,并用椭偏仪测得薄膜厚度与折射率.研究了薄膜厚度、折射率与热处理温度的关系,并就有机粘接剂PVP对ZrO2薄膜折射率及机械强度的影响作了初步探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学波耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
3	王珏	同济大学波耳固体物理研究所	79	1255	22.0	32.0
4	陈玲燕	同济大学波耳固体物理研究所	60	522	13.0	19.0
5	邓忠生	同济大学波耳固体物理研究所	18	442	12.0	18.0
6	张勤远	同济大学波耳固体物理研究所	9	90	5.0	9.0
7	杨天河	同济大学波耳固体物理研究所	6	61	4.0	6.0