溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜

• 作者: 吴东 孙予罕 张磊 徐耀 梁丽萍 盛永刚 蒋晓东 魏晓峰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶 TiO2薄膜 折射率 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: O648|O436.1
• 字数: 2621字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶- 凝胶法制备了TiO2纳米晶溶胶,并以旋涂法(spin-coating)镀制了高折射率光学薄膜.借助光散射技术和透射电镜研究了溶胶的微结构.采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、紫外-可见-近红外光谱仪、椭偏仪、漫反射吸收光谱及强激光辐照实验,对膜层的结构、光学性能及抗激光损伤性能进行了系统的表征.结果显示:纳米晶薄膜的折射率达到了1.9,而传统的溶胶-凝胶薄膜折射率只有1.6;同时纳米晶薄膜的抗激光损伤阈值与传统的溶胶-凝胶薄膜相差不大,在1 064 nm处分别为16.3 J/cm2(3 ns脉冲) 和16.6 J/cm2(3 ns脉冲);纳米晶溶胶薄膜可以在保持较高抗激光损伤阈值情况下,大幅度提高薄膜折射率.