微面形貌观测物镜的光学系统误差分析

• 作者: 井文才 刘娜 宋霄 张以谟 张红霞 贾大功
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微面形貌观测物镜 光学系统 装配误差 分辨率
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 工程光学
• 页码范围: 2989-2992
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 2746字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到成像清晰、系统分辨率高的目的.