计量光栅的制造和检测方法

• 作者: 杨栩生 王志昆
• 来源期刊: 科技信息
• 学科: 物理学
• 关键词: 计量光栅种类 光栅制造 光栅检测
• 年，卷（期）: 2009,（23）
• 所属期刊栏目: 科教前沿2
• 页码范围: 444-445,469
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 5568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9960.2009.23.338

摘要

计量光栅作为一种精密位移的测量及传感元件广泛应用于计量、数字显示、数字控制等领域,有很高的分辨力.本文介绍了计量光栅的种类,重点介绍了计量光栅制造的主要方法以及衡量计量光栅质量的基本指标和基本检测方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志昆		1	6	1.0	1.0
2	杨栩生		1	6	1.0	1.0