准分子激光均束器及其研究进展

• 作者: 周金运 林清华 裴文彦
• 来源期刊: 中国科技博览
• 学科: 交通运输
• 关键词: 准分子激光 均束器 光刻 加工窗
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 科学论坛
• 页码范围: 66-67
• 页数: 2页
• 分类号: U305.7
• 字数: 4943字
• 语种: 中文

摘要

以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准分子激光光束均匀化的重要性;按照折射光学元件、衍射光学元件和混合光学元件分类的方法,分别对这三类准分子激光均束器进行了介绍,并对其特点、应用和进展情况进行了综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林清华	广东工业大学物理与光电工程学院	32	288	9.0	16.0
2	裴文彦	广东工业大学实验教学部	12	31	3.0	5.0
3	周金运	广东工业大学物理与光电工程学院	53	251	9.0	13.0