一种三维金属微型腔的组合加工方法

• 作者: 刘冲 刘文涛 杜立群 莫顺培
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电火花加工 准LIGA 三维微型腔 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 90-94
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 2078字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.01.017

摘要

为了制作局部为三维结构的金属模具微型腔,实验研究了一种组合加工新工艺,即先用紫外线光刻和电铸成形(准LIGA)技术在模具基底上制作二维金属微型腔,再用微细电火花成形加工(EDM)技术对微型腔的局部进行修形,得到局部为三维结构的微型腔,电火花修形的位置根据微型腔结构的设计要求而定.以制作聚合物微流控芯片用的金属模具为试件,以微细电火花成形加工中影响工件表面粗糙度的因素分析为理论指导,应用该方法制作了局部侧壁倾斜的三维微型腔.根据测量结果,两边侧壁与水平方向的夹角分别为49.6°和46.4°,倾斜侧壁的表面粗糙度R_a为0.391μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	61	480	13.0	19.0
5	刘冲	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	156	1345	17.0	30.0
9	莫顺培	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	38	2.0	2.0
10	刘文涛	大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室	2	13	2.0	2.0