基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法

• 作者: 张效栋 房丰洲 胡小唐 魏桂爽
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 自由曲面 原位测量 LVDT
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 829-833
• 分类号: TG506
• 字数: 1684字
• 语种: 中文

摘要

原位测量是提高光学自由曲面面形精度的重要手段,对于提高加工效率、实现加工过程自动化具有重要意义.由于面形的复杂性,光学自由曲面原位测量一直是超精密测量领域的难题.提出了一种基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法,测量系统由LVDT气浮式传感器、红宝石探针和数据采集部件组成,采用螺旋线方式进行加工及测量路径的设计,通过运动控制接口实现机床坐标和测量数据的实时同步采集,快速精确地获取测量数据.实验结果表明,所加工的双正弦自由曲面的面形误差在±0.5μm范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津微纳制造工程技术中心	205	1913	21.0	33.0
2	张效栋	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津微纳制造工程技术中心	29	254	8.0	15.0
3	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津微纳制造工程技术中心	60	448	12.0	18.0
4	魏桂爽	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津微纳制造工程技术中心	3	29	2.0	3.0