聚乙烯亚胺添加剂对碱性镀铜电沉积行为的影响

• 作者: 占稳 张智 欧阳贵 程骄 胡立新 陈雪梅
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 碱性镀铜 聚乙烯亚胺添加剂 镀层表面形貌 择优取向 连续成核
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 科技关注
• 页码范围: 1-3,35
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153.1
• 字数: 3155字
• 语种: 中文

摘要

为了研究碱性镀铜中添加剂对铜电沉积行为的影响,采用一种新型柠檬酸碱性镀铜工艺制备了铜镀层,研究了聚乙烯亚胺添加剂在新型柠檬酸盐碱性镀铜中的作用机理.运用SEM,XRD和电化学方法对镀液、镀层进行了分析.结果表明:聚乙烯亚胺有利于获得较宽的电流密度范围和均匀细致的镀层,使铜镀层表现出(111)晶面的择优取向,铜的沉积为侧向生长;聚乙烯亚胺优先吸附在阴极高电流密度处,并对铜沉积产生较强的阻化作用;铜电沉积的初期行为服从扩散控制和三维连续成核方式生长规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈雪梅	黄石理工学院化工与材料学院	20	86	6.0	8.0
2	胡立新	湖北工业大学化学与环境工程学院	43	362	11.0	17.0
3	占稳	湖北工业大学化学与环境工程学院	9	110	6.0	9.0
4	欧阳贵		24	168	8.0	12.0
5	程骄	湖北工业大学化学与环境工程学院	7	87	5.0	7.0
6	张智	湖北工业大学化学与环境工程学院	17	165	7.0	12.0