多重网格法求解微机械谐振器的挤压膜阻尼

• 作者: 李普 黄善敏
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 微谐振器 挤压膜阻尼 多重网格方法
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 39-42
• 分类号: TH12
• 字数: 2588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2010.02.009

摘要

针对求解MEMS挤压膜阻尼过程中存在的问题,采用了多重网格方法进行求解,与传统方法相比,应用于挤压膜中流体问题的求解具有收敛速度快,数值稳定性好的优点,求得了谐振器平板间的压力分布函数以及微谐振器的各个性能指标的值,研究了挤压膜中流体阻尼力的特性以及与谐振器件幅-频特性的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李普	东南大学机械工程学院	47	540	15.0	21.0
2	黄善敏	东南大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0