利用干涉仪检测调整非球面物镜的光路

• 作者: 刘秀梅
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面光学 光学调整 干涉仪测量 同轴
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 12-15
• 分类号: O43|TH74
• 字数: 1628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2010.05.003

摘要

介绍了利用干涉仪检测调整非球面物镜光路的方法.调整分粗调和精调两个阶段.在粗调阶段,以激光的光轴作为检测光路的基准光轴,建立起共轴光路检测系统;在精调阶段,以WYGO干涉仪内部倾斜系数作为调整依据,进行物镜的精调.用干涉仪测得的物镜的面形质量为:波前PV值优于λ/8,RMS值达到λ/100(λ=0.6328μm),检测结果满足波前检测镜头的要求.这表明此种光路调整方法能够反映物镜真实的面形精度,并且能用于高精度的物镜检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘秀梅	长安大学兴华学院	4	11	2.0	3.0