微电铸层内应力超声去除实验

• 作者: 刘冲 宋磊 杜立群 王启佳
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 应力超声去除 Ni微电铸层 内应力 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 143-148
• 页数: 6页
• 分类号: TQ153.43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.02.009

摘要

针对Ni微电铸层中内应力过大的问题,提出用超声时效技术去除铸层内应力的方法.利用自行研制的超声设备对铸层内应力进行去除,借助X射线衍射仪和应力测量公式求得超声前后的内应力大小,并对实验结果进行对比.结果显示, 铸层内应力在50 min时去除最为明显,平均应力由-209.0 MPa减小到-109.0 MPa,减小了100 MPa,消除率达到47.9%.可知在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效地减小和消除电铸层的内应力.超声时效去应力效果与热处理效果相当,能够满足微器件的使用要求,具有一定的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	61	480	13.0	19.0
5	刘冲	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	156	1345	17.0	30.0
9	王启佳	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	3	14	2.0	3.0
10	宋磊	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	3	11	2.0	3.0