非平衡磁控溅射等离子体频谱特征

• 作者: 刘升光 张鹏云 牟宗信 牟晓东 董闯 贾莉
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 等离子体 共振
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 等离子体应用
• 页码范围: 169-172
• 分类号: O539
• 字数: 2250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2010.02.015

摘要

利用朗缪尔探针和快速傅里叶变换研究了非平衡磁控溅射等离子体静电波动的驻波共振频谱特征.频带宽度为0~300kHz,典型放电条件下磁控靶前2cm和10cm两个位置的共振本征频率变化范围分别为10~50kHz和1~10kHz,研究了线圈电流、气压和放电功率等参数对共振本征频率的影响;指出了非平衡磁控溅射中能够导致等离子体静电驻波共振的两种势阱结构,提出驻波共振机制解释特征频率出现的原因,根据声驻波共振机制计算的电子温度数值符合实验的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牟宗信	三束材料改性教育部重点实验室大连理工大学物理与光电工程学院	3	14	2.0	3.0
2	刘升光	三束材料改性教育部重点实验室大连理工大学物理与光电工程学院	2	0	0.0	0.0
3	牟晓东	三束材料改性教育部重点实验室大连理工大学物理与光电工程学院	2	2	1.0	1.0
4	贾莉	三束材料改性教育部重点实验室大连理工大学物理与光电工程学院	1	0	0.0	0.0
5	张鹏云	三束材料改性教育部重点实验室大连理工大学物理与光电工程学院	1	0	0.0	0.0