用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器

• 作者: 尤政 董瑛 郑义 高伟
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 聚合物 挥发性有机化合物 微悬臂梁 谐振器
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 95-101
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.02.001

摘要

在研制成功的用于化学气体探测的热驱动微悬臂梁谐振器的基础上,提出了基于这种微悬臂梁谐振器,并以聚合物涂层作为挥发性有机化合物吸附敏感层的谐振式气体传感器.利用3种聚合物材料:聚氧化乙烯(PEO)、聚乙烯醇(PVA)和聚乙二醇乙醚醋酸酯(PEVA),在微悬臂梁谐振器上制备气体敏感层,探测6种挥发性有机化合物:甲苯、苯、乙醇、丙酮、己烷和辛烷.通过有限元分析估计了聚合物涂层的工作温度.用喷射法制备了PVA和PEVA涂层,用点滴法制备了PEO涂层.测试了传感器的开环幅频特性,实验检测了气体传感器的谐振频率变化与分析物蒸气浓度的关系以及传感器对相对湿度的响应,分析了传感器的灵敏度和线性度.实验结果表明,这种涂覆聚合物敏感层的热驱动微悬臂梁谐振器为探测挥发性有机化合物提供了良好的平台.根据实验结果,可开发几种基于不同聚合物敏感层的高灵敏度微型气体传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
5	董瑛	清华大学精密仪器与机械学系	9	131	7.0	9.0
9	郑义	清华大学精密仪器与机械学系	19	42	4.0	5.0
10	高伟	清华大学精密仪器与机械学系	16	71	4.0	8.0