半导体制造系统(FAB)设备维修策略

• 作者: 张鹏 王中杰
• 来源期刊: 科协论坛（下半月）
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造系统 预防性维修 役龄回退参数 维修周期
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 科研探索与知识创新
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TNT10
• 字数: 3934字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-3973.2010.01.052

摘要

根据役龄回退参数的不同取值,建立了半导体设备预防性维修后的平均单位产值模型,利用仿真方法确定最佳预防性维修周期和次数,阐述了役龄回退参数对预防性维修周期的影响和预防性维修对企业增加利润的重要性,对未来的研究工作进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	同济大学电子与信息工程学院	117	984	17.0	26.0
2	王中杰	同济大学电子与信息工程学院	56	413	11.0	17.0