激光直线度干涉仪浅析

• 作者: 舒阳
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 直线度 渥拉斯顿棱镜 双平面反射镜
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 113-116
• 分类号: TG88
• 字数: 1782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2010.06.038

摘要

激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种.本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视的几个问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	舒阳		3	19	3.0	3.0