薄膜硬度计算方法

• 作者: 刘亚龙 周亮 聂文杰 郭永泽
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 薄膜 硬度 计算方法
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 9-12
• 分类号: V4
• 字数: 3442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2010.03.003

摘要

为了将薄膜本征硬度从所测复合硬度中提取出来,目前有很多计算或描述的模型和方程.本文介绍了目前提出的计算薄膜硬度的方法和模型,对各方法和模型进行了分析比较,并对其未来发展方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周亮	哈尔滨工业大学机电工程学院	34	354	10.0	18.0
2	刘亚龙	哈尔滨工业大学机电工程学院	7	101	4.0	7.0
3	郭永泽	哈尔滨工业大学机电工程学院	2	6	2.0	2.0
4	聂文杰	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	4	1.0	1.0