熔石英表面功能化处理技术研究进展

• 作者: 蒋晓东
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 化学
• 关键词: 表面功能化 熔石英 高功率激光系统 技术 等离子体处理 优良特性 表面损伤 光学材料
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 120-122
• 页数: 3页
• 分类号: O643.36

摘要

1采用反应等离子体处理获得了高阈值石英表面熔石英材料是高功率激光系统中的一种最重要的光学材料，特别是在紫外波段更是不可替代，这取决于SiO2在紫外激光下的优良特性，但在实际应用中，熔石英这种特性往往受到各种各样的限制，其中最大的局限就是石英玻璃的表面缺陷。石英元件在机械抛光过程中引入很多表面损伤，这些损伤甚至深入到表面以下微米级的深度