MEMS器件常用微弱信号检测技术研究

• 作者: 吴柯锐 杜晓强
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微弱信号检测 方法 电路
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 49-51,54
• 页数: 4页
• 分类号: TM930
• 字数: 3050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2010.02.017

摘要

文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍.针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析,并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓强	中北大学信息与通信工程学院	5	27	3.0	5.0
5	吴柯锐		11	44	4.0	6.0