半导体制造技术

• 作者: 赵俊娟
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造技术 半导体产业 摩尔定律 技术资料 背景资料 参考资料 原材料 有材料
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 19-20
• 页数: 2页
• 分类号: TN302

摘要

在半导体领域，技术的变化遵循着摩尔定律的快速节奏，是以月而不是以年为单位计的。本书追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，包括从原材料筹备到模块格式芯片的钝化，还为读者提供了半导体研究的必要背景资料。书中包含的所有材料，都是半导体产业的工程师所必须的，是一本全面、先进的教材和参考资料。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵俊娟	中国科学院电子学研究所	18	15	1.0	3.0