某硅晶片生产厂房净化空调设计

• 作者: 姚洪娥
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直单向流洁净室 风机过滤单元 变频 自控 干式冷盘管
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 77-79
• 分类号: TU8
• 字数: 3389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2010.01.021

摘要

结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例,介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程.并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚洪娥		4	19	3.0	4.0